CMP研磨液過濾濾心
CMP研磨液過濾濾心
KANER REE 系列濾心適用於 CMP 研磨液循環製程。使用多層奈米纖維可提高液體流速，再加上梯度設計可同時增加顆粒攔截能力與使用壽命。而折疊式結構能容納
較多懸浮物，達到使用壽命增長的效果。採用膠囊式架構可快速更換，避免直接接觸研磨液體。
較多懸浮物，達到使用壽命增長的效果。採用膠囊式架構可快速更換，避免直接接觸研磨液體。
特性優點:
- 多層奈米纖維可提高流速
- 使用特殊捲繞與摺疊式結構可讓研磨液中小顆粒與大顆粒間取得平衡，防止出現刮痕
- 連續分級的多孔結構有效加長使用壽命，提高納汙量
- 膠囊式結構易於安裝，清潔和更換
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